微硅片狭缝在新型微小型光纤光谱仪中的应用

微硅片狭缝在新型微小型光纤光谱仪中的应用

狭缝是光谱仪的重要组成部分，狭缝的宽度直接影响光谱仪系统的分辨率，狭缝的高度直接影响光谱仪的探测强度。传统光谱仪狭缝是采用机械方法加工的，具有体积大、加工困难、装调复杂等缺点。若仍然采用机械加工的方法加工和装配狭缝，会使得光谱仪的体积增大，装配更加复杂，很难装配出理想微小型光纤光谱仪，更难应用于便携式生化分析仪中。

采用微机械加工工艺加工出的硅片狭缝具有体积小、质量轻、价格低廉、适宜批量化生产等优点。系统的分辨率直接受狭

缝宽度的影响，利用微机械加工工艺加工的硅片狭缝孔的宽度可以在1～100／zm 内任意选择，完全满足系统分辨率对狭缝宽度的要求。